一、?準(zhǔn)備工作：?

 1、檢查系統(tǒng)所有閥門，壓力表，安全閥，杜瓦罐使用閥卡具等均應(yīng)齊全好用。?氮?dú)庀到y(tǒng)不得有泄漏情況。? 

2、如系統(tǒng)為初次使用或檢修后重新投用，應(yīng)打開匯流排各閥門和用氣終端閥門，用合格的氮?dú)庵脫Q系統(tǒng)。吹掃1分鐘后，關(guān)閉所有閥門待用。? 

3、將杜瓦罐液相出口和汽化器連接軟管連接緊密，無泄漏，開杜瓦罐供液閥，正常使用，待用凈換瓶時在關(guān)閉供液閥，拆下連接軟管。?

4、供氣閥不使用。增壓閥不使用。?

二、?操作程序：? 

1、?最大氣量補(bǔ)氣（用于釜負(fù)壓、常壓或槽車卸料等）使用減壓表①? 操作：打開減壓表①供氣閥，打開補(bǔ)氣釜氮?dú)忾y開始供氣，（從負(fù)壓補(bǔ)至0.1MP大約8分鐘左右）補(bǔ)至0.1MP后關(guān)閉減壓表①供氣閥，系統(tǒng)保持0.1MP壓力。?

2、?0.1MP供氣系統(tǒng)（用于生產(chǎn)過程中）使用減壓表②? 操作：減壓表②供氣閥常開（在更換杜瓦罐時需關(guān)閉，更換完成后立即打開，保持系統(tǒng)壓力），減壓表②為系統(tǒng)提供0.1MP壓力，生產(chǎn)釜在生產(chǎn)時打開氮?dú)忾y，生產(chǎn)完畢時關(guān)閉氮?dú)忾y。生產(chǎn)過程中和氮?dú)夤苈分幸恢北３?.1MP壓力。?

3、?澆注口氮?dú)庀到y(tǒng)（用于生產(chǎn)過程中澆注口氮封氮?dú)猓┦褂脺p壓表③? 操作：減壓表③供氣閥常開（在更換杜瓦罐時需關(guān)閉，更換完成后立即打開，保持系統(tǒng)壓力），分別供給ACE線澆注口氮封氮?dú)?，生產(chǎn)前打開A/C/E澆注口進(jìn)氣閥，生產(chǎn)線生產(chǎn)完成后關(guān)閉A/C/E線澆注口氮?dú)忾y。? 

三、緊急停車步驟為：? 當(dāng)系統(tǒng)或車間發(fā)生緊急情況需要緊急停用供氣系統(tǒng)時，應(yīng)按以下步驟停車。?1）?迅速關(guān)閉杜瓦罐用氣閥和增壓閥。?2）?迅速打開匯流排放空閥。?3）?迅速打開操作間通風(fēng)裝置。? 

注意：? 

1、液氮系統(tǒng)操作時必須戴手套操作，嚴(yán)禁徒手操作，防止凍傷。? 

2、減壓表①開度為全開，減壓表②壓力設(shè)定0.1MP，減壓表③設(shè)定5L/min，三個減壓表開度參數(shù)不得修改，如減壓表損壞更換后應(yīng)按如上參數(shù)調(diào)整。? 

3、杜瓦罐出氣閥全開工作，增壓閥禁止操作，罐體壓力小于2MP，每兩小時巡檢一次，如罐體壓力只曾不降，按緊急停車步驟處理。?

4、供氮使用液相接口，氣相接口和增壓閥不使用。

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